In dit onderzoek worden uitgebreide tests uitgevoerd voor het tellen van de deeltjes in de lucht om de filtratie-efficiëntie en de verontreinigingsbeheersingsprestaties van ventilatorfiltereenheden (FFU's) in cleanroomomgevingen te evalueren.De analyse omvat de verdeling van de deeltjesgrootte (0.3μm ∼5.0μm), uniformiteit van de luchtstroom en naleving van de ISO 14644-reinigingsnormen, waardoor kritieke gegevens worden verstrekt voor FFU-optimalisatie en validatie van de schoonruimte.